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Le calibrateur à dilution dynamique FPI AQMS-200 utilise deux régulateurs de débit massique pour effectuer un étalonnage standard du zéro et du span avec jusqu'à 4 sources de gaz.
Le calibrateur à dilution dynamique FPI AQMS-200 utilise deux régulateurs de débit massique pour effectuer un étalonnage standard du zéro et du span avec jusqu'à 4 sources de gaz.
| Plage de débit du gaz de dilution | 0~10SLPM |
| Plage de débit du gaz d'étalonnage | 0~100SLPM |
| Linéarité | ≤1%F.S. |
| Répétabilité | ≤1%F.S. |
| Temps de réponse (T90) | ≤300s |
| Zéro dérive (24 heures) | ±1ppb |
| Dérive de la portée (24 heures) | ±1ppb |
| Température de fonctionnement | 0~40°C |
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