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FPI AQMS-200 ダイナミック希釈校正器は、2 台のマス・フロー・コントローラーを使用して、最大 4 つのガス・ソースで標準ゼロ校正とスパン校正を行います。.
| 希釈ガス流量範囲 | 0~10SLPM |
| 校正ガス流量範囲 | 0~100SLPM |
| 直線性 | ≤1%F.S. |
| 再現性 | ≤1%F.S. |
| 応答時間（T90） | ≤300s |
| ゼロ・ドリフト（24時間） | ±1ppb |
| スパン・ドリフト（24時間） | ±1ppb |
| 使用温度 | 0~40°C |
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